Περιγραφή

Αποστολή ερώτησής

Μια μονάδα καθαρισμού νερού EDI για ημιαγωγούς είναι συνήθως μέρος ενός συστήματος Ultra Pure Water (UPW). Σε αυτό το πλαίσιο, το EDI είναι το "βήμα στίλβωσης αφαίρεσης ιόντων" μετά το RO που σας βοηθά να φτάσετε σε εξαιρετικά χαμηλή αγωγιμότητα-και το πρόσθετο γυάλισμα UPW αφαιρεί το TOC, το πυρίτιο/βόριο, τα διαλυμένα αέρια, τα βακτήρια και τα σωματίδια για να καλύψει τις απαιτήσεις fab.

Γιατί το EDI είναι το πρότυπο για ημιαγωγούς

Οι παραδοσιακές κλίνες ανταλλαγής ιόντων-αντικαθίστανται σε μεγάλο βαθμό από EDI σε εγκαταστάσεις ημιαγωγών λόγω πολλών κρίσιμων τεχνικών πλεονεκτημάτων:

Μηδενική ιοντική διαρροή: Σε αντίθεση με τις τυπικές κλίνες ρητίνης που μπορούν να «διαρρεύσουν» ιόντα καθώς εξαντλούνται, το EDI παρέχει μια σταθερή ροή υψηλής{{0} καθαρότητας επειδή η ρητίνη αναγεννάται συνεχώς από ένα ηλεκτρικό πεδίο.
Χημικό-Ελεύθερο περιβάλλον: Οι ημιαγωγοί απαιτούν ένα απίστευτα σταθερό περιβάλλον. Το EDI χρησιμοποιεί ηλεκτρική ενέργεια αντί για επικίνδυνα οξέα και καυστικά, εξαλείφοντας τον κίνδυνο χημικών αναθυμιάσεων ή τυχαίας διαρροής που θα μπορούσαν να μολύνουν τον αέρα του "Clean Room".
Χαμηλό TOC και αφαίρεση πυριτίου: Το EDI είναι εξαιρετικά αποτελεσματικό στην αφαίρεση ασθενώς ιονισμένων ειδών όπως το πυρίτιο ($SiO_2$) και το βόριο, τα οποία είναι γνωστό ότι είναι δύσκολο να αφαιρεθούν αλλά είναι καταστροφικές για τις αποδόσεις ημιαγωγών.
Αρθρωτή επεκτασιμότητα: Τα "Fab" των ημιαγωγών είναι τεράστια. Τα συστήματα EDI είναι αρθρωτά, επιτρέποντας στους μηχανικούς να κλιμακώνουν την παραγωγή νερού προς τα πάνω ή προς τα κάτω για να ταιριάζουν με τον αριθμό των εργαλείων λιθογραφίας ή χάραξης σε λειτουργία.

Τυπική εγκατάσταση καθαρισμού νερού EDI για ημι-αγωγό

Σε μια εγκατάσταση ημιαγωγών, η εγκατάσταση EDI είναι η "καρδιά" του βρόχου στίλβωσης, που βρίσκεται μεταξύ του σταδίου αντίστροφης όσμωσης (RO) και του τελευταίου σημείου--χρήσης φίλτρων:

Πρωτογενής επεξεργασία (Διπλό-Περίοδος RO): Αφαιρεί το 99% των χύδην μολυσματικών ουσιών. Το υψηλής ποιότητας-διαπέρασμα από το δεύτερο πέρασμα RO χρησιμεύει ως νερό τροφοδοσίας για το EDI.
Απαερίωση: Αφαιρεί τα διαλυμένα $O_2$ και $CO_2$. Αυτό είναι κρίσιμο γιατί τα διαλυμένα αέρια μπορεί να προκαλέσουν φυσαλίδες στην επιφάνεια του πλακιδίου και να επηρεάσουν την απόδοση του EDI.
Μονάδα EDI: Το νερό γυαλίζεται στα 15–18 M$\\Omega$·cm. Το ηλεκτρικό πεδίο διασφαλίζει ότι η ρητίνη ανταλλαγής ιόντων- παραμένει σε μόνιμα "φορτισμένη" κατάσταση.
UV & υπερδιήθηση (UF): Τελικό "γυάλισμα" σε μήκη κύματος 18,5 nm ή 254 nm UV για να καταστρέψει τυχόν ίχνη οργανικών ουσιών (TOC) και μεμβράνες UF για να πιάσει τυχόν εναπομείναντα σωματίδια υπο-μικρών.

Βασικά σημεία σχεδίασης που έχουν μεγαλύτερη σημασία

Η τροφοδοσία στο EDI πρέπει να είναι πολύ καθαρή: χαμηλή σκληρότητα, χαμηλός κίνδυνος απολέπισης πυριτίου, χαμηλά οξειδωτικά (χλώριο), χαμηλή SDI.
Η απαέρωση (αφαίρεση CO2) συχνά βελτιώνει την ειδική αντίσταση και μειώνει το φορτίο EDI.
Υλικά και υγιεινή: Οι βρόχοι UPW χρησιμοποιούν συνήθως υλικά υψηλής-καθαρότητας (π.χ. PVDF/PFA/EP{3}}βαθμού SS ανάλογα με τις προδιαγραφές) και συνεχή ανακυκλοφορία για την αποφυγή μόλυνσης.
Παρακολούθηση: ειδική αντίσταση, TOC, πυρίτιο, DO, μετρήσεις σωματιδίων, ροή/πίεση, θερμοκρασία-συν συναγερμοί/τάσεις.

Αν μου πείτε αυτά τα 4 στοιχεία, μπορώ να προτείνω μια κατάλληλη μονάδα καθαρισμού νερού EDI για ημιαγωγούς:

Απαιτούμενη ροή UPW (m³/ώρα ή m³/ημέρα)
Πηγή ακατέργαστου νερού + TDS/πυρίτιο (αν είναι γνωστό)
Χρήση: fab UPW (διαδικασία) έναντι βοηθητικών προγραμμάτων (τριβής/ψύξης)
Τυχόν προδιαγραφές στόχου που πρέπει να πληροίτε (ανθεκτικότητα/TOC/πυρίτιο/σωματίδια)